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技術(shù)文章

靜電荷存在的影響
靜電荷存在的影響
      一、概述
         靜電荷的存在除了增加以晶片形式表現(xiàn)的管芯突然失效的因素外，還有許多附架效應(yīng)和塵埃污染。
      二、塵埃污染
         塵埃可以相當(dāng)有效地從空氣中被濾除，然而不能從半導(dǎo)體晶片的環(huán)境中**它們。幾乎在晶片制造的每個(gè)工序上塵埃是同樣發(fā)生的。人體右能是濟(jì)大的一個(gè)塵埃來(lái)源，如衣服上掉下來(lái)的纖維屑、頭發(fā)或死掉的表皮。破碎的晶片是另一個(gè)塵埃來(lái)源。任何時(shí)候一個(gè)表面被另一個(gè)表面擦過，都會(huì)發(fā)生一些塵埃。石英晶片舟滑入石英管中，晶片從一個(gè)載體傳送到另一個(gè)載體時(shí)，塑料盒打開或關(guān)閉時(shí)都可能產(chǎn)生塵埃。即使是空氣過濾器本身也可能掉下纖維屑。
     三、塵埃帶電
       塵埃不可能從晶片制造中被完全消除。然而，有一個(gè)經(jīng)常被忽略的與塵埃相關(guān)的效應(yīng)。空氣中的大多數(shù)塵埃被靜電充電。當(dāng)塵埃濟(jì)初脫離它所依附的材料時(shí)，這種靜電荷可能產(chǎn)生，或都當(dāng)它被子吹過一個(gè)表面時(shí)，它可能獲取電荷。
       由于懸浮在空氣中的塵埃是移動(dòng)的并且是多荷電粒子，它將對(duì)其遇到的任何靜電場(chǎng)起反應(yīng)。任何靜電帶電表面都可提供這種靜電場(chǎng)。靜電電壓越高則靜電場(chǎng)院越強(qiáng)。充電的塵埃會(huì)被具有相同極性的帶電表面所排斥但被不同極性的帶電表面所吸引。如果塵埃或者表面二者之中有一個(gè)是絕緣體，在碰撞時(shí)塵埃將不會(huì)被中和而是將吸附于表面上。
      無(wú)論是晶片還是防護(hù)罩，都可能作為這樣一個(gè)帶電的表面。由于在半導(dǎo)體制造區(qū)內(nèi)發(fā)現(xiàn)的大多數(shù)塵埃都是非導(dǎo)體，并且在大多數(shù)制造工序中半導(dǎo)體表面的大部分被氧化膜所覆蓋，塵埃被帶電的晶片或防護(hù)罩的靜電場(chǎng)所吸引勢(shì)必成為附著的狀態(tài)。這種表龜吸引力和通過壓縮空氣或氮?dú)獾臍饬骺赡苁┘佑谶@些微細(xì)塵埃上的力相比還是值得注意的。甚至去離子水不能移去這樣的一些塵埃。通常的自來(lái)水是導(dǎo)電的，它足以中和靜電電荷，然而去離子水是一種絕緣物體。

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