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技術文章

機械放電模式的介紹
機器放電模式(Machine Model, MM)的ESD是指機器(例如機械手臂)本身累積了靜電，當此機器去碰觸到IC時，該靜電便經由IC的pin放電。此機器放電模式的工業測試標準為 EIAJ-IC-121 method20，其等效電路圖如下圖所示。
 
 
Test Standard : EIAJ-IC-121Method 20
 
CLASS
STRESSLEVELS
M0
0 to <50V
M1
50 to<100V
M2
100 to<200V
M3
200 to<400V
M4
400 to<800V
M5
>800V

圖1 機器放電模式(MM)的工業標準測試等效電路及其耐壓能力等級分類
 
因為大多數機器都是用金屬制造的，其機器放電模式的等效電阻為0Ω，但其等效電容定為200pF。由于機器放電模式的等效電阻為0，故其放電的過程更短，在幾毫微秒到幾十毫微秒之內會有數安培的瞬間放電電流產生。有關2-KVHBM與200-V MM的放電電流比較，見圖2。
 
圖2 人體放電模式(2-KV) 與機器放電模式(200V)放電電流的比較圖
 
雖然HBM的電壓2 KV比MM的電壓200V來得大，但是200-VMM的放電電流卻比2-KV HBM的放電電流來得大很多，因此機器放電模式對IC的破壞力更大。在圖2.2-2中，該200-VMM的放電電流波形有上下振動(Ring)的情形，是 因為測試機臺導線的雜散等效電感與電容互相耦合而引起的。
 
另外在國際電子工業標準 (EIA/JEDEC STANDARD)中，亦對此機器放電模式訂定測試規范(EIA/JESD22-A115-A)，詳細情形請參閱該工業標準。
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