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技術文章

靜電的危害方式
靜電對電子工業危害主要表現為以下三種方式：塵埃吸附、靜電放電和靜電感應。
 
(1)塵埃吸附
靜電對幾~幾十微米的塵埃吸附作用明顯。塵埃對微電子生產影響很大，在現代微電子生產中，芯片的線寬已達到0.1微米。一顆直徑幾微米塵埃吸附在芯片上，即可造成十幾根芯線間的絕緣強度降低，造成短路并使芯片損壞。
 
注:1μm=0.001mm,頭發直徑：75μm，
肉眼可見濟小黑點：40μm。
 
 
(2) 靜電放電 （ESD）
靜電放電可使集成電路芯片介質擊穿，芯線熔斷、漏電流增大而加速老化、電性能參數改變等。靜電放電對芯片損壞具有潛在性與和緩慢失效性，這種危害性更大。
 
 
(3) 靜電感應
靜電感應不但具有靜電放電的危害性，而且因其產生的寬頻帶干擾可對計算機和低電平數字電路發生翻轉效應或導致儀器（表）運行失常。
 

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