弟四節(jié)　振動控制

　　弟3.4.1條潔凈廠房和周圍輔助性站房內(nèi)有強烈振動的設(shè)備(包括水泵等)及其通往潔凈室的管道，應(yīng)采取積極隔振措施。

　　弟3．4．2條對潔凈廠房內(nèi)外各類振源，應(yīng)測定其對潔凈廠房的綜合振動影響。如受條件限制，也可根據(jù)經(jīng)驗對綜合振動影響進行評價。并應(yīng)與精密設(shè)備、精儀器儀表的允許環(huán)境振動值進行比較，以確定對其采取必要的隔振措施。

　　弟3．4．3條精密設(shè)備、精密儀器儀表的隔振措施，應(yīng)考慮減少發(fā)生量、保持潔凈室內(nèi)合理的氣流組織等要求。當(dāng)采用空氣彈簧隔振臺座時，應(yīng)地氣源進行處理，使其達到潔凈室的空氣潔凈度等級。


　　　　　　　　　　　　　　　　　　　弟四章 建筑

弟一節(jié) 一般規(guī)定

　　弟4．1．1條 潔凈廠房的建筑平面和空間布局，應(yīng)具有適當(dāng)?shù)撵`活性。潔 凈區(qū)的主體結(jié)構(gòu)不宜采用內(nèi)墻承重。

　　弟4．1．2條 潔凈室的高度以凈高控制，凈高應(yīng)以100毫基本模數(shù)。

　　弟4．1．3條 潔凈廠房主體結(jié)構(gòu)的耐久性與室內(nèi)裝備和裝修水平相協(xié)調(diào)， 并應(yīng)具有防火、控制溫度變形和不均勻沉陷性能（地震區(qū)應(yīng)符合抗震設(shè)計規(guī)定）。 廠房變形縫應(yīng)避免穿過潔凈區(qū)。

　　弟4．1．4條 送、回風(fēng)管和其他管線需暗敷時，應(yīng)設(shè)置技術(shù)夾層、技術(shù)夾 道或地溝等；穿越極層的豎向管線需暗敷時，宜設(shè)置技術(shù)豎井。

　　弟4．1．5條 對兼有一般生產(chǎn)和潔凈生產(chǎn)的綜合性廠房，其方案設(shè)計和構(gòu) 造的處理，應(yīng)避免在人流與物流運輸以及防火方面對潔凈生產(chǎn)帶來不利影響。

弟二節(jié) 人員凈化和物料凈化設(shè)施

　　弟4．2．1條 潔凈廠房內(nèi)應(yīng)設(shè)置人員凈化、物料凈化用室和設(shè)施，并應(yīng)根 據(jù)需要設(shè)置生活用室和其他用室。

　　弟4．2．2條 人員凈化用室，宜包括雨具存放間、管理室、換鞋室、存外衣 室、盥洗室、潔凈工作服室和空氣吹淋室等。 廁所、淋浴室、休息室等生活用室以及工作服清洗間和干燥間等其他用室， 可根據(jù)需要設(shè)置。

　　弟4．2．3條 人員凈化用室和生活用室的設(shè)計，應(yīng)符合下列要求：
　　　　一、人員凈化用室的入口處，應(yīng)設(shè)凈鞋器。
　　　　二、存外衣室和潔凈工作服室應(yīng)分別設(shè)置。外衣存衣柜和潔凈工作服柜應(yīng)按 設(shè)計人數(shù)每人設(shè)
　　一柜。
　　　　三、盥洗室應(yīng)設(shè)洗手和烘干設(shè)備。水龍頭應(yīng)按濟大班人數(shù)每10人設(shè)一個。
　　　　四、潔凈區(qū)不得設(shè)廁所。人員凈化用室內(nèi)的廁所應(yīng)設(shè)前室。
　　　　五、空氣吸淋室應(yīng)設(shè)在潔凈區(qū)人員入口處，并應(yīng)與潔凈工作服室相鄰。單人 空氣吹淋室按濟
　　大班人數(shù)每30人設(shè)一臺。當(dāng)僅為100級垂直層流潔凈室時，可改 設(shè)氣閘室。
　　　　潔凈區(qū)工作人員超過5人時，空氣吹淋室一側(cè)應(yīng)設(shè)旁通門。

　　弟4．2．4條 人流路線應(yīng)避免往復(fù)交叉。人員凈化用室和生活用室的布置， 一般按圖4．2．4的人員凈化程序進行布置。

　　弟4．2．5條 根據(jù)不同的空氣潔凈度等級和工作人員數(shù)量，潔凈廠房內(nèi)人 員凈化用室和生活用室的建筑面積應(yīng)合理確定。一般可按潔凈區(qū)設(shè)計人數(shù)平均每 人4～6平方米計算。

　　弟4．2．6條 潔凈工作服室內(nèi)，對空氣凈化應(yīng)有一定的要求。

　　弟4．2．7條 潔凈室的設(shè)備和物料出入口，應(yīng)根據(jù)設(shè)備和物料的性質(zhì)、形 狀等待征設(shè)置物料凈化用室及其設(shè)施。物料凈化用室的布置，應(yīng)防止凈化后物料 在傳遞過程中被污染。


弟三節(jié) 防火和疏散

　　弟4．3．1條 潔凈廠房的耐火等級不應(yīng)低于二級。吊頂材料應(yīng)為非燃燒體， 其耐火極限不宜小于0．25小時。

　　弟4．3．2條 潔凈廠房內(nèi)一般的生產(chǎn)工作間的火災(zāi)危險性，可按附錄三進 行分類。

　　弟4．3．3條 甲、乙類生產(chǎn)的潔凈廠房，宜采用單層廠房。其防火墻間濟 大允許占地面積，單層廠房應(yīng)為3，000平方米，多層廠房應(yīng)為2，000平方米。

　　弟4．3．4條 甲、乙類生產(chǎn)或設(shè)置在甲、乙類生產(chǎn)環(huán)境中的裝配式潔凈室， 其頂棚和壁板（包括內(nèi)部填充物）應(yīng)為非燃燒體。

　　弟4．3．5條 在一個防火區(qū)內(nèi)的綜合性廠房，其潔凈生產(chǎn)與一般生產(chǎn)區(qū)域 之間應(yīng)設(shè)置非燃燒體隔墻封閉到頂。隔墻及其相應(yīng)頂板的耐火極限不應(yīng)低于1小 時，隔墻上的門窗耐火極限不應(yīng)低于0．6小時。穿過隔墻或頂板的管線周圍空隙 應(yīng)采用非燃燒材料緊密填塞。

　　弟4．3．6條 技術(shù)豎井井壁應(yīng)為非燃燒體，其耐火極限不應(yīng)低于1小時。井 壁上檢查門的耐火極限不應(yīng)低于0．6小時；豎井內(nèi)在各層或間隔一層樓板處，應(yīng) 采用相當(dāng)于樓板耐火極限的非燃燒體作水平防火分隔；穿過水平防火分隔的管線 周圍空隙，應(yīng)采用非燃燒材料緊密填塞。

　　弟4．3．7條 潔凈廠房每一生產(chǎn)層、每一防火分區(qū)或每一潔凈區(qū)的可靠出 口的數(shù)量，均不應(yīng)少于兩個。但符合下列要求者，可設(shè)置一個可靠出口：
　　　　一、甲、乙類生產(chǎn)廠房每層的總建筑面積不用過50平方米，且同一時間內(nèi)的 生產(chǎn)人員總數(shù)不
　　用過5人；
　　　　二、丙、丁、戊類生產(chǎn)廠房，符合國家現(xiàn)行的《建筑設(shè)計防火規(guī)范》的規(guī)定 者。
　　　　可靠出口應(yīng)分散均勻布置，從生產(chǎn)地點至可靠出口不用經(jīng)過曲折的人員凈化 路線。

　　弟4．3．8條 潔凈區(qū)與非潔凈區(qū)和潔凈區(qū)與室外相通的可靠疏散門應(yīng)向疏 散方向開啟。可靠疏散門不得采用吊門、轉(zhuǎn)門、側(cè)拉門以及電控自動門。

　　弟4．3．9條 當(dāng)潔凈廠房同層外墻上可供消防人員通往廠房潔凈區(qū)的門窗， 其洞口間距大于80米時，則應(yīng)在該段外墻的適當(dāng)部位設(shè)置專用消防口。 專用消防口的寬度不應(yīng)小于750毫米，高度不應(yīng)小于1800毫米，并應(yīng)有明顯標志。樓層的專用消防口應(yīng)附設(shè)陽臺，并從二層起向上設(shè)爬樓。


弟四節(jié) 室內(nèi)裝修

　　弟4．4．1條 潔凈廠房的建筑圍護結(jié)構(gòu)和室內(nèi)裝修，應(yīng)選用氣密性良好， 且在溫度和濕度等變化作用下變形小的材料。墻面內(nèi)裝修當(dāng)需附加構(gòu)造骨架和保 溫層時。應(yīng)采用非燃燒體或難燃燒體。

　　弟4．4．2條 潔凈室內(nèi)墻壁和頂棚的表面，應(yīng)符合平整、光滑、不起灰、 避免眩光、便于除塵等要求；應(yīng)減少凹凸面，陰陽角做成圓角。室內(nèi)裝修宜采用 于操作；如為抹灰時，應(yīng)采用**抹灰標
準。

　　弟4．4．3條 潔凈室的地面，應(yīng)符合平整、耐磨、易除塵清洗、不易積聚 靜電、避免眩光、并有舒適感等要求。

　　弟4．4．4條 潔凈廠房技術(shù)夾層的墻面、頂棚宜抹灰。如需在技術(shù)夾層內(nèi) 更換高效空氣過濾器時，宜增刷涂料飾面。 地面、回風(fēng)地溝和位于地下的技術(shù)夾層，應(yīng)采用防水或防潮、防霉措施。 建筑風(fēng)道和回風(fēng)地溝的內(nèi)表面裝修標準，應(yīng)與整個送、回風(fēng)系統(tǒng)相適應(yīng)，并 應(yīng)易于除塵。

　　弟4．4．5條 潔凈室和人員凈化用室設(shè)置的外窗，應(yīng)采用雙層玻璃金屬窗，并應(yīng)有良好的氣密性。

　　弟4．4．6條 潔凈室內(nèi)的密閉門宜朝空氣潔凈度較高的房間開啟。無窗潔 凈室的密閉門上宜設(shè)觀察窗。

　　弟4．4．7條 潔凈室門窗、墻壁、頂棚、地（樓）面的構(gòu)造和施工縫隙， 均應(yīng)采取可靠的密封措施。

　　弟4．4．8條 潔凈室內(nèi)的色彩宜淡雅柔和。室內(nèi)各表面材料的光反射系數(shù)， 頂棚和墻面宜為0．6－0．8；地面宜為0．15--0．35。


弟五節(jié) 裝配式潔凈室

　　弟4．5．1條 在新建或改建的潔凈廠房設(shè)計中，對于面積不大、層高較低、 要求空氣潔凈度較高的生產(chǎn)環(huán)境可采用裝配式潔凈室。

　　弟4．5．2條 裝配式潔凈室所在的房間應(yīng)有空氣凈化要求，并應(yīng)與裝配式潔 凈室的空氣潔凈度等級相適應(yīng)。外圍建筑的耐火等級不得低于二級。

　　弟4．5．3條 裝配式潔凈室頂棚可由裝配式潔凈室本身內(nèi)壁板或支柱支承， 也可固定在外圍建筑上。回風(fēng)地溝或回風(fēng)地坑宜設(shè)在外圍建筑的地面以下。

　　弟4．5．4條 裝配式潔凈室設(shè)計應(yīng)滿足在該室室內(nèi)安裝壁板的要求。裝配 式潔凈室的構(gòu)配件應(yīng)做到：連接構(gòu)造的整體性強、氣密性好，并便于組裝、拆卸、 包裝和運輸。

　　弟4．5．5條 裝配式潔凈室的四周壁板中，宜有一面或兩面緊貼或靠近外 圍建筑的墻壁。緊貼時，壁板與墻壁之間的安裝縫隙應(yīng)封閉；靠近時，應(yīng)留有清 掃距離。當(dāng)裝配式潔凈室時,壁板外側(cè)設(shè)有技術(shù)夾道時，壁板與外圍建筑內(nèi)墻面 之間凈寬不宜小于600毫米。


　　　　　　　　　　弟五章　空氣凈化

弟一節(jié)　一般規(guī)定

　　弟5．1．1條潔凈廠房內(nèi)各潔凈室的空氣潔凈度等級的確定，應(yīng)符合下列要求：
　　　　一、潔凈室內(nèi)有多種工序時，應(yīng)根據(jù)各工序的不同要求，采用不同的空氣潔凈度等級。
　　　　二、在滿足人生產(chǎn)工藝要求的前提下，潔凈室的氣流組級別，宜采用局部工作區(qū)空氣凈化和全
　　室空氣凈化相結(jié)合的形式。

　　弟5.1.2條 層流潔凈室和亂流潔凈室以及運行班次和使用時間不同的潔凈室，其凈化空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)均宜分開設(shè)置。

　　弟5．1．3條潔凈室內(nèi)的計算溫、溫度、應(yīng)符合下列規(guī)定：
　　　　一、滿足生產(chǎn)工藝要求
　　　　二、生產(chǎn)工藝無溫、濕度要求時，潔凈室溫度為20～26度，溫度70度。

　　弟5．1．4條潔凈室內(nèi)應(yīng)保證一定的新鮮空氣量，其數(shù)值頻取下列風(fēng)量中的濟大值；
　　　　一、亂流潔凈室總送風(fēng)量的10%～30%，層流潔凈室總送風(fēng)量的2～4%。
　　　　二、補償室內(nèi)排風(fēng)和保持室內(nèi)正壓值所需的新鮮空氣量。
　　　　三、保證室內(nèi)每人每小時的新鮮空氣量不小于40立方米。

　　弟5．1．5條潔凈區(qū)的清掃，宜采用移動式高效真空吸塵器或設(shè)置集中式真空吸塵系統(tǒng)。潔凈室內(nèi)集中式真空吸塵系統(tǒng)的管道，應(yīng)暗敷。

　　弟5．1．6條在凈化空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)設(shè)計中，對施工和維護管理要求，可按附錄四和附錄五的規(guī)定。


弟二節(jié)　潔凈室正壓控制

　　弟5．2．1條潔凈室必須維持一定的正壓。不同等級的潔凈室以及潔凈區(qū)與非潔凈區(qū)之間的靜壓差，應(yīng)不小于4.9Pa，潔凈區(qū)與室外的靜壓差，應(yīng)不小于9.8Pa。

　　弟5．2．2條潔凈室維持不同的正壓值所需的正壓風(fēng)量，宜按下式計算：

　　　　Q＝q1·Σ（q·L） 　　　　　（5.2.2）

　　　　式中：Q--維持潔凈室正壓值所需的正壓風(fēng)量(米³/時)；
　　　　　　　a--根據(jù)圍擴結(jié)構(gòu)氣密性確定的可靠系數(shù)，可取1.1～1.2；
　　　　　　　q--當(dāng)潔凈室為某一正壓值時，其圍護結(jié)構(gòu)單位長度縫隙的滲漏風(fēng)量(米³/時·米)；
　　　　　　　L--圍擴結(jié)構(gòu)的縫隙長度(米)。

　　弟5．2．3條圍護結(jié)構(gòu)單位長度縫隙的滲漏風(fēng)量，可按表5.2.3采用。

　　弟5．2．4條送風(fēng)、回風(fēng)和排風(fēng)系統(tǒng)的啟閉聯(lián)鎖。系統(tǒng)開啟時，聯(lián)軸和序應(yīng)為先啟動送風(fēng)機，再啟動回風(fēng)機和排風(fēng)機，系統(tǒng)關(guān)閉時，則聞鎖程序應(yīng)相反。

　　弟5．2．5條非連續(xù)運行的潔凈室，可根據(jù)生產(chǎn)工藝要求設(shè)置值班風(fēng)機，并應(yīng)對新風(fēng)進行處理。
弟三節(jié)　氣流組組織和送風(fēng)量

　　弟5．3．1 氣流組織的選擇，應(yīng)符合下列要求：
　　　　一、潔凈工作區(qū)的氣流速度，應(yīng)滿足空氣潔凈度和人體健康的要求，并應(yīng)使?jié)崈艄ぷ鲄^(qū)氣流流
　　 向單一。
　　　　二、回風(fēng)口宜均勻布置在潔凈室下部。
　　　　三、余壓閥宜設(shè)在潔凈室氣流的下風(fēng)側(cè)，不宜設(shè)在潔凈工作區(qū)高度范圍內(nèi)。

　　弟5．3．2條潔凈室的氣流組織和送風(fēng)量，宜按表5.3.2選用。

　　弟5．3．3條亂流潔凈室的送風(fēng)量，應(yīng)取下列規(guī)定的濟大值；
　　　　一、為控制室內(nèi)空氣潔凈度所需要的送風(fēng)量。
　　　　二、按表5.3.2規(guī)定的送風(fēng)量。
　　　　三、根據(jù)熱、濕負荷計算和稀釋有害氣體所需的送風(fēng)量。
　　　　四、按空氣平衡所需要的送風(fēng)量。

　　 弟5.3.4條當(dāng)生產(chǎn)工藝僅要求在潔凈室內(nèi)局部工作區(qū)達到更高的空氣潔凈度時，其氣流組織設(shè)計應(yīng)
使?jié)崈魵饬魇紫攘鹘?jīng)該工作區(qū)，或在潔凈室的不同區(qū)域形成不同氣流流型和空氣潔凈度等級的潔凈工作區(qū)，其型式可分別按圖5.3.4-1、5.3.4-2。

　　弟5．3．5條層流潔凈室內(nèi)不宜設(shè)置潔凈工作臺；亂流潔凈室內(nèi)可設(shè)置潔凈工作臺，但其位置應(yīng)遠離回風(fēng)口。

　　弟5．3．6條潔凈室內(nèi)有局部排風(fēng)裝置時，其位置應(yīng)設(shè)在工作區(qū)氣流的下風(fēng)側(cè)。


弟四節(jié)　空氣凈化處理

　　弟5．4．1條各等級空氣潔凈度的空氣凈化處理，均應(yīng)采用初效、中效、高效空氣過濾器三級過
濾。
　　　　注1：100，000級空氣凈化處理，可采用亞高效空氣過濾器代高效空氣過濾器。

　　弟5．4．2條確定集中式或分散式凈化空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)時，應(yīng)綜合考慮生產(chǎn)工藝特點和潔凈室空氣潔凈度等級、面積、位置等因素。凡生產(chǎn)工藝連續(xù)、潔凈室面積較大時，位置集中以及噪聲控制和振動控制要求嚴格的潔凈室，宜采用集中式凈化空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)。

　　弟5．4．3條凈化空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)設(shè)計應(yīng)合理利用回風(fēng)，凡工藝過程產(chǎn)生大量有害物質(zhì)且局部處理不能滿足衛(wèi)生要求，或?qū)ζ渌ば蛴形：r，則不應(yīng)用回風(fēng)。

　　弟5．4．4條凈化空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)除直流式系統(tǒng)和設(shè)置值班風(fēng)機的系統(tǒng)外，應(yīng)采取防止室外污染空氣通過新風(fēng)口參入潔凈室內(nèi)的防倒灌措施。

　　弟5．4．5條空氣過濾器的選用布置和安裝方式，應(yīng)符合下列要求：
　　　　一、初效空氣過濾器不應(yīng)選用浸油式過濾器。
　　　　二、中效空氣過濾器宜集中設(shè)置在凈化空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)的正壓段。
　　　　三、高效空氣過濾器或亞高效空氣過濾器宜設(shè)置在凈化空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)末端。
　　　　四、中效、亞高效、高效空氣過濾器宜按額定風(fēng)量選用。
　　　　五、阻力、效率相近的高效空氣過濾器宜設(shè)置在同一潔凈室內(nèi)。
　　　　六、高效空氣過濾器安裝方式應(yīng)簡便可靠，易于檢漏和更換。

　　弟5．4．6條送風(fēng)機可按凈化空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)的總送風(fēng)量和總阻力值進行選擇，中效、高效空氣過濾器的阻力宜接其初阻力的兩倍計算。

　　弟5．4．7條凈化空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)如需電加熱時，應(yīng)選用管狀電加熱器，位置應(yīng)布置在高效空氣過濾器的上風(fēng)側(cè)，并應(yīng)有防火可靠措施。


弟五節(jié)　采暖通風(fēng)

　　弟5．5．1條潔凈室的采暖型式，應(yīng)按下列不同情況確定：
　　　　一、100級、1000級、10，000級潔凈室，不應(yīng)采用散熱器采暖，100，000級潔凈室，不宜采用
　　 散熱器采暖。
　　　　二、值班采暖可利用技術(shù)夾道的散熱器進行間接采暖。或采用間歇運行凈化空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)，值
　　 班風(fēng)機系統(tǒng)進行熱風(fēng)采暖。

　　弟5.5.2條散熱器應(yīng)采用表面光滑不易積塵、便于清掃的形式。

　　弟5．5．3條潔凈室內(nèi)產(chǎn)生粉塵和有害氣體的工藝設(shè)備，應(yīng)設(shè)局部排風(fēng)裝置、排風(fēng)罩的操作口面積應(yīng)盡量縮小。

　　弟5．5．4條局部排風(fēng)系統(tǒng)在下列情況下，應(yīng)單獨設(shè)置：
　　　　一、非同一凈化空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)。
　　　　二、排風(fēng)介質(zhì)混合后能產(chǎn)生或加劇腐蝕性、毒性、燃燒爆炸危險性。
　　　　三、所排出的有害物毒性相差很大。

　　弟5.5.5條潔凈室的排風(fēng)系統(tǒng)設(shè)計，應(yīng)采取下列措施：
　　　　一、防倒灌措施。
　　　　二、含有易燃、易爆物質(zhì)局部排風(fēng)系統(tǒng)的防火、防爆措施。

　　弟5．5．6條換鞋室、存外衣室、盥洗室、廁所和淋浴室等，應(yīng)采取通風(fēng)措施，其室內(nèi)的靜壓值，應(yīng)低于潔凈區(qū)。

　　弟5．5．7條潔凈室事故排風(fēng)系統(tǒng)的換氣次數(shù)，應(yīng)采用每小時15～20次。 事故排風(fēng)裝置的控制開
關(guān)，應(yīng)分別設(shè)在潔凈室和室外便于操作的地點，并應(yīng)與凈化空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)聯(lián)鎖，其室內(nèi)宜設(shè)報警裝置。


弟六節(jié)　風(fēng)管和附件

　　弟5．6．1條風(fēng)管斷面尺寸的確定，應(yīng)考慮能對風(fēng)管內(nèi)壁進行清潔處理，并在適當(dāng)位置設(shè)置密閉的清掃口。風(fēng)管壁厚按附錄六選用。

　　弟5．6．2條凈化空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)的新風(fēng)管、回風(fēng)總管，應(yīng)設(shè)置密閉調(diào)節(jié)閥。送風(fēng)機的吸入口處和需要調(diào)節(jié)風(fēng)量處，應(yīng)設(shè)置密閉調(diào)節(jié)閥。送風(fēng)機的吸入口處和需要調(diào)節(jié)風(fēng)量處，應(yīng)設(shè)置調(diào)節(jié)閥。潔凈室內(nèi)的排風(fēng)系統(tǒng)，應(yīng)設(shè)置調(diào)節(jié)閥、止回閥或密閉閥。總風(fēng)管穿過樓板和風(fēng)管穿過防火墻處，必須設(shè)置防火閥。

　　弟 5．6．3條凈化空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)的風(fēng)管和調(diào)節(jié)閥以及高效空氣過濾器的保護網(wǎng)、孔板和擴散孔板等附件的制作材料和涂料，應(yīng)根據(jù)輸送空氣的潔凈要求及其所處的空氣環(huán)境條件確定。 潔凈室內(nèi)排風(fēng)系統(tǒng)的風(fēng)管、調(diào)節(jié)閥和止回閥等附件的制作材料和涂料，應(yīng)根據(jù)排除氣體的性質(zhì)及其所處的空氣環(huán)境條件確定。

　　弟5．6．4條在中效和高效的空氣過濾器前后，應(yīng)設(shè)置測壓孔。在新風(fēng)管和送回風(fēng)總管以及需要調(diào)節(jié)風(fēng)量的支管上，應(yīng)設(shè)置風(fēng)量測定孔。

　　弟5．6．5條排除腐蝕性氣體的風(fēng)管，可采用塑料風(fēng)管，其他風(fēng)管以及風(fēng)管的保溫和游泳場材料及其粘結(jié)劑，應(yīng)采用非燃燒材料或難燃燒材料。


　　　　　　　　　　　　　　　　　　弟六章 給水排水

弟一節(jié) 一般規(guī)定

　　弟6．1．1條 潔凈廠房內(nèi)的給水排水干管，應(yīng)敷設(shè)在技術(shù)夾層、技術(shù)豎井、　地溝管槽內(nèi)或地下埋設(shè)。潔凈室內(nèi)應(yīng)少敷設(shè)管道。引入潔凈室的支管宜明敷，但對空氣潔凈度等級要求高的潔凈室可暗敷。

　　弟6．1．2條 潔凈廠房內(nèi)的管道外表面，如可能結(jié)露，應(yīng)采取防結(jié)露措施。

　　弟6．1．3條 管道穿過潔凈室頂棚、墻壁和樓板處應(yīng)設(shè)套管。管道與套管 之間應(yīng)采取可靠的密封措施。

　　弟5．1．4條 管道不宜穿過防火墻。如必須穿過時，穿墻管及其套管應(yīng)為 非燃燒體管材。


弟二節(jié) 給水

　　弟6．2．1條 潔凈廠房內(nèi)的給水系統(tǒng)設(shè)計，應(yīng)根據(jù)生產(chǎn)、生活和消防等各 項用水對水質(zhì)、水溫、水壓和水量的要求，分別設(shè)置直流、循環(huán)或重復(fù)利用的給 水系統(tǒng)。高純水系統(tǒng)應(yīng)設(shè)置循環(huán)管道。

　　弟6．2．2條 管材的選擇，應(yīng)符合下列要求：
　　　　一、純水管、高純水管應(yīng)采用硬聚氯乙烯管、聚丙烯管或不銹鋼管；
　　　　二、冷卻循環(huán)給水和回水管宜采用鍍鋅鋼管；
　　　　三、生產(chǎn)用水設(shè)備與管道的連接宜采用上等軟管；
　　　　四、管道的配件應(yīng)采用相應(yīng)的材料。

　　弟6．2．3條 潔凈廠房內(nèi)可設(shè)置開水供應(yīng)設(shè)施；盥洗室內(nèi)的盥洗盆宜供應(yīng) 熱水；軟化水、純水管適應(yīng)預(yù)留清洗口；純水終端凈化裝置應(yīng)放在靠近用水點處。

　　弟6．2．4條 潔凈廠房的周圍，應(yīng)設(shè)置灑水設(shè)施。


弟三節(jié) 排水

　　弟6．3．1條 潔凈廠房的排水系統(tǒng)設(shè)計，應(yīng)根據(jù)生產(chǎn)排出的廢水性質(zhì)、濃 度、水量等特點確定排水系統(tǒng)，并應(yīng)有廢水處理或綜合利用設(shè)施。

　　弟6．3．2條 潔凈室內(nèi)的排水設(shè)備以及與重力回水管道相連接的設(shè)備，必 須在其排出口以下部位設(shè)水封裝置，并應(yīng)有防止水封被破壞的設(shè)施。

　　弟6．3．3條 100級、1000級潔凈室內(nèi)，不宜設(shè)置地漏；如必須設(shè)置時，應(yīng) 采用有蓋地漏，并不應(yīng)設(shè)排水溝。10，000、100，000級潔凈室內(nèi)允許穿過排水 豎管，但在豎管上不得設(shè)置檢查口。

　　弟6．3．4條 潔凈廠房內(nèi)應(yīng)采用不易積存污物、易于清掃的衛(wèi)生器具、管 材、管架及其附件。


弟四節(jié) 消防設(shè)施

　　弟6．4．1條 潔凈廠房應(yīng)根據(jù)生產(chǎn)的火災(zāi)危險性分類和建筑物耐火等級等 因素確定消防設(shè)施。

　　弟6．4．2條 潔凈廠房室內(nèi)消火栓給水系統(tǒng)的消防用水量不應(yīng)小于10升／ 秒，每股水量不應(yīng)少于5升／秒；
　　弟6．4．3條 潔凈廠房的消火栓設(shè)置，應(yīng)符合下列要求：
　　　　一、消火栓的水槍充實水柱，不應(yīng)小于10米。
　　　　二、消火栓的栓口直徑應(yīng)為65毫米，配備的水帶長度不應(yīng)超過25米，水槍噴 嘴口徑不應(yīng)小于
　　19毫米。

　　弟6．4．4條 潔凈室及其技術(shù)夾道和技術(shù)夾層內(nèi)，均宜同時設(shè)置鹵代烷或 二氧化碳等滅火設(shè)施和消防給水系統(tǒng)。對設(shè)有貴重設(shè)備儀器或生產(chǎn)的火災(zāi)危險性 較大的潔凈室，以及當(dāng)火災(zāi)發(fā)生時消防人員難以進入撲救的技術(shù)夾層和技術(shù)夾道 等部位，應(yīng)同時設(shè)置鹵代烷或二氧化碳等固定滅火裝置和消防給水系統(tǒng)。


　　　　　　　　　　弟七章　工業(yè)氣體管道

弟一節(jié)　一般規(guī)定

　　弟7．1．1條工業(yè)氣體管道的干管，應(yīng)敷設(shè)在技術(shù)夾層、技術(shù)夾道內(nèi)。氫氣和氧氣管道且明敷，如敷設(shè)在技術(shù)夾層、技術(shù)夾道內(nèi)時，應(yīng)采取良好的通風(fēng)措施。 引入潔凈的支管宜明敷。

　　弟7．1．2條高純氣體管道設(shè)計，應(yīng)符合下列要求：
　　　　一、根據(jù)計算確定管徑。
　　　　二、管道系統(tǒng)應(yīng)盡量短。
　　　　三、不宜設(shè)預(yù)留口。
　　　　四、不應(yīng)出現(xiàn)"盲管"等不易吹除的部位。
　　　　五、干管不支管上應(yīng)設(shè)置吹除口。
　　　　六、在管系統(tǒng)上應(yīng)設(shè)置吹除口。

　　弟7.1．3條穿過潔凈室墻壁或樓板的氣體管道，應(yīng)敷設(shè)在預(yù)埋套管內(nèi)，套管內(nèi)的管段不應(yīng)有焊縫。管道與套管之間應(yīng)采取可靠的密封措施。

　　弟7．1．4條氫氣和氧氣管道的末端或濟高點宜設(shè)放散管。放散管應(yīng)高出屋脊1米，并應(yīng)設(shè)在防雷保護區(qū)內(nèi)。

　　弟7．1．5條氣體凈化裝置應(yīng)根據(jù)氣源和生產(chǎn)工藝對氣體統(tǒng)一計劃的要求進行選擇。氣體終端凈化裝置應(yīng)設(shè)在靠近用氣點處。

　　弟7．1．6條氣體過濾器應(yīng)根據(jù)生產(chǎn)工藝對氣體含塵量的要求進行選擇。高純氣體管道應(yīng)裝設(shè)高效氣體過濾器。


弟二節(jié)　管道材料、閥門和附件

　　弟7．2．1條根據(jù)不同的氣體及其純度和用途，管道材料應(yīng)按下列規(guī)定選用：
　　　　一、氣體純度大小或等于99.999%時，應(yīng)采用不銹鋼管。
　　　　二、氣體純度大于或等于99.99%時，宜采用不銹鋼管、銅管、無縫鋼管。
　　　　三、氣體純度小于99.99%時，可采用無縫鋼管。
　　　　四、管道與設(shè)備的連接段，宜采用金屬管道；如為非金屬軟管時，宜采用聚四氟乙烯管、聚乙
　　烯管、不得采用乳膠管。

　　弟7．2．2條高純氣體管道應(yīng)采用密封性能好的低門和附件，其材料與管道相適應(yīng)。閥門的密合圈應(yīng)為有色金屬、不銹鋼或聚四氟乙烯材料。閥門的填塞料應(yīng)采用聚四氟乙烯材料。

　　弟7．2．3 高純氣體管道與附件連接的密封墊，應(yīng)采用不銹鋼、有色金屬、聚四氟乙烯或氟橡膠材料。


弟三節(jié)　管道連接和清洗

　　弟7．3．1條管道連接應(yīng)采用焊接。高純氣體管道應(yīng)采用承插焊。

　　弟7．3．2條管道與設(shè)備、閥門的連接處，宜采用法蘭、螺紋或其它密封性能優(yōu)良的連接件。螺紋處宜采用聚四氟乙烯帶密封。

　　弟7．3．3條 高純性氣體管道內(nèi)的內(nèi)壁、閥門和附件在安裝前，應(yīng)進行清洗、脫脂等預(yù)處理。


弟四節(jié)　可靠技術(shù)

　　弟7．4．1條 工業(yè)氣體管道設(shè)計的可靠技術(shù)，應(yīng)符合下列規(guī)定；
　　　　一、氫氣管道的支管和放散管上，應(yīng)設(shè)置回火防止器。
　　　　二、氫氣和氧氣管道應(yīng)設(shè)置導(dǎo)除靜電裝置。
　　　　三、各種氣體管道應(yīng)設(shè)明顯標志。

　　弟7．4．2條潔凈室內(nèi)使用氫氣時，宜在室內(nèi)設(shè)置報警裝置。

　　弟7．4．3條各種氣瓶應(yīng)集中設(shè)置在潔凈廠房外，當(dāng)日用氣量不超過一瓶時，氣瓶可設(shè)置在潔凈室內(nèi)。